微電子電子化學(xué)材料系統(tǒng)集成,包括半導(dǎo)體、光刻膠、樹(shù)脂生產(chǎn)系統(tǒng)集成。中央控制室可以通過(guò)連接到各種傳感器和儀表,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)生產(chǎn)過(guò)程中的各個(gè)參數(shù),如溫度、壓力、液位等,實(shí)現(xiàn)分散控制,集中管理。設(shè)備采用防爆無(wú)塵設(shè)計(jì),耐腐耐堿耐酸,設(shè)備滿(mǎn)足微電子化學(xué)行業(yè)對(duì)設(shè)備潔凈等級(jí)以及設(shè)備表面顆粒數(shù)量的控制要求。模塊化設(shè)計(jì),維護(hù)成本低;全自動(dòng)配料,運(yùn)行狀態(tài)實(shí)時(shí)監(jiān)控。
微電子電子化學(xué)材料系統(tǒng)集成,包括半導(dǎo)體、光刻膠、樹(shù)脂生產(chǎn)系統(tǒng)集成。中央控制室可以通過(guò)連接到各種傳感器和儀表,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)生產(chǎn)過(guò)程中的各個(gè)參數(shù),如溫度、壓力、液位等,實(shí)現(xiàn)分散控制,集中管理。設(shè)備采用防爆無(wú)塵設(shè)計(jì),耐腐耐堿耐酸,設(shè)備滿(mǎn)足微電子化學(xué)行業(yè)對(duì)設(shè)備潔凈等級(jí)以及設(shè)備表面顆粒數(shù)量的控制要求。模塊化設(shè)計(jì),維護(hù)成本低;全自動(dòng)配料,運(yùn)行狀態(tài)實(shí)時(shí)監(jiān)控。