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集成系統(tǒng)
微電子電子化學材料系統(tǒng)集成，包括半導體、光刻膠、樹脂生產系統(tǒng)集成。中央控制室可以通過連接到各種傳感器和儀表，實時監(jiān)測生產過程中的各個參數(shù)，如溫度、壓力、液位等，實現(xiàn)分散控制，集中管理。設備采用防爆無塵設計，耐腐耐堿耐酸，設備滿足微電子化學行業(yè)對設備潔凈等級以及設備表面顆粒數(shù)量的控制要求。模塊化設計，維護成本低；全自動配料，運行狀態(tài)實時監(jiān)控。
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